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Résumé de la communication
Angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy (ARXPS) est une méthode qui permet l’extraction d’un profil composition-profondeur des premiers 10 nm d’une surface parfaitement lisse. L’extraction du profil de profondeur à partir de données ARXPS, s’élève à l'inversion de la transformée de Laplace, un problème mal posé où le nombre d’inconnues est trop grand par rapport au nombre de données disponibles, et parmi les limites d’ARXPS on doit se limiter à trois degrés de liberté donc la solution n’est pas unique et elle est instable. Pour stabiliser la solution et rendre le problème bien posé il est nécessaire d’ajouter un terme de régularisation au critère du lissage des calculs sur les données dont le poids dans la solution est déterminé par un paramètre libre. Le choix du paramètre de régularisation reste essentiellement arbitraire mais il y a une méthode applicable aux données XPS pour le choix de cette valeur qui est la méthode de la courbe L. Cette méthode ne tient pas compte de la variance dans les données et elle donne des résultats moins satisfaisants pour cette raison. Notre étude consiste à introduire cette variance comme un critère pour obtenir des résultats plus satisfaisants.
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