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Micro-résonateurs acoustiques à ondes de LAMB pour les communications sans fil

Frédéric Domingue
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Frédéric Domingue

Résumé de la communication

Les résonateurs à ondes acoustiques de surface (SAW) ou de volume (BAW) sont des dispositifs importants pour les systèmes de communication sans fil. Ces microstructures acoustiques sont produites en volume et intégrées dans les téléphones portables modernes. Ces technologies ont permis de réaliser des filtres aux performances accrues et aux encombrements et coûts réduits. Toutefois, chacune de ces technologies présente des inconvénients majeurs. Les dispositifs à ondes de surface sont produits sur un substrat coûteux empêchant de les intégrer sur silicium avec les circuits actifs. Dans l’autre cas, les fréquences de fonctionnement des composants acoustiques en volume sont fixées par l’épaisseur des matériaux fixe pour une fabrication donnée. Il est donc très difficile de répondre aux besoins de différents filtres sur une même tranche produite. Cette limitation augmente considérablement le coût de production. En revanche des modes acoustiques additionnels peuvent être excités dans un matériau piézoélectrique. Ces familles de modes sont appelées les ondes de LAMB. Ce travail présente les microstructures acoustiques exploitant les modes de LAMB. Ces dispositifs comportent une membrane piézoélectrique suspendue à l’intérieur de laquelle se propage latéralement une onde. Ils offrent l’avantage majeur de pouvoir fournir des fréquences variées sur une même fabrication et de réduire les coûts de production. De plus, les dispositifs sont réalisés sur silicium permettant ainsi l’intégration totale avec les circuits actifs.

Contexte

Section :
L'Énoncé de politique des trois Conseils nouvelle version : application au contexte québécois
news icon Domaine de la communication :
L'Énoncé de politique des trois Conseils nouvelle version : application au contexte québécois
section icon Date : 14 mai 2010
host icon Hôte : Université de Montréal

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