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Résumé de la communication
La céramique cofrittée à basse température (LTCC) pour Low Temperature Cofired Ceramic combine les avantages des substrats multicouches et les excellentes propriétés électromagnétiques en hautes fréquences. Une métallisation de haute conductivité, telle que celle de l’argent et l’or permet de placer cette technologie comme le meilleur candidat pour la réalisation d’inducteurs de haut facteur de qualité, encastrées dans un substrat LTCC avec une haute densité d’inter-connection. Ceci permet une très bonne miniaturisation augmentant ainsi l’échelle d’intégration sans sacrifier les performances. Des inducteurs de 1.5 mm[SUB 2] sont conçus et fabriqués dans un substrat LTCC multicouche intégrant de multiples cavités d’air pour aider à réduire l’effet des capacités parasites, sont présentés. La simulation montre que des facteurs de qualité de 120, des valeurs d’inductance allant jusqu'à 20 nH et résonnant à 10 GHz sont possibles. Ces inductances sont d’une importance capitale pour plusieurs applications en telecommunications radiofréquences et leur fabrication en technologie LTCC les rend parfaitement adaptées pour une intégration des systèmes RF de type SiP (System in Package).
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