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Réalisation de couches minces de carbone avec des propriétés contrôlées à l’aide de la déposition par laser pulsé

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Aminata Toure : Université de Moncton

Résumé de la communication

La déposition par laser pulsé (DLP) est une méthode adéquate pour la fabrication de couches minces de carbone. Nous montrons qu’il est possible de fabriquer ce matériau avec des propriétés contrôlées selon les conditions de déposition. Ce matériau est attrayant pour une foule d’application dont le carbone adamantin pour la résistance à l’usure. Notre système DLP est composé d’un laser de haute puissance, dont le faisceau est focalisé à l’intérieur d’une chambre à vide sur une cible de graphite. Le panache de particules éjectées est recueilli sur un substrat. Pour chaque dépôt, on change la longueur d’onde (1064, 355, 532, 266nm), la durée de l’impulsion (200-1200 ps à 1064nm), la taille du faisceau focalisé ou l’énergie pour avoir les propriétés électrique, optique et mécanique désirées. La caractérisation à l’ellipsomètre permet de déterminer les parties réelle et imaginaire de l’indice de réfraction et l’épaisseur. Des mesures avec le système quatre pointes combinées à l’information sur l’épaisseur donnent la résistivité électrique. Une analyse au microscope à force atomique est nécessaire pour connaitre la densité et la rugosité. Ensuite, la spectroscopie Raman permet de déterminer les types de liaisons et la nature du matériau. Ceci va nous donner les conditions de dépôt pour avoir des couches minces de carbone avec des propriétés contrôlées. On cherchera une corrélation entre les propriétés optiques, électriques et mécaniques.

Contexte

section icon Thème du congrès 2014 (82e édition) :
La recherche : zones de convergence et de créativité
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Matériaux
section icon Date : 13 mai 2014

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