Colloque

Analyse des propriétés mécaniques des couches minces par le MicroScratch-Tester

P. Leroux

J.E. Klemberg-Sapieha

L. Martinu

M.R. Wertheimer

Membre a labase

P. Leroux

Résumé du colloque

Les propriétés mécaniques représentent des caractéristiques importantes des couches optiques et protectrices, et les couches anti-reflet ou les barrières contre la perméation des gaz. Dans ce travail, des couches posées sur des substrats intermédiaires et des épaisseurs de moins d'un micromètre sont évaluées par le MicroScratch-Tester. Durant le test, une pointe sphérique de diamant (Rockwell C) se déplace le long de la surface à force normale (0.01-30 N) constante ou croissante. Le signal acoustique et la force tangentielle sont tous enregistrés et la trace est jugée par la microscopie optique. Ceci permet de déterminer la charge critique, le mode de brisure, et aussi d'évaluer l'adhérence, la dureté, la résistance à l'abrasion et le coefficient de frottement pour différentes combinaisons couche/substrat. Différents modèles de brisure sur des substrats flexibles comme les polymères (polyimide, polyester et polycarbonate) ont été définis. Les couches considérées dans ce travail sont les métaux (Al et Cu) et les films déposés par plasma tels que des composantes de silicium (SiO2, SiN) ou des couches simili-diamand (DLC, a-C:H).

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université du Québec à Rimouski

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