Analyse simultanée d'éléments traces dans des matériaux de haute pureté par chromatographie en phase gazeuse couplé à un détecteur à émission atomique à plasma micro-onde
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Résumé du colloque
La détermination des éléments traces dans les matériaux de haute pureté ont une importance industrielle de plus en plus grande (Si et Ga dans l'industrie des semi-conducteurs, Al dans les disques optiques). Plusieurs techniques d'analyse simultanée et élémentaire sont disponibles, mais aucune ne peut satisfaire à tous les besoins analytiques dans ce domaine. Nous avons donc concentré nos efforts sur une technique basée sur la spectroscopie d'émission atomique à plasma micro-onde couplé à la chromatographie en phase gazeuse. Cette approche nous permet d'envisager d'une part une séparation totale ou partielle de la matrice des analytes avant analyse, d'autre part d'effectuer une préconcentration des éléments traces. Dans cette présentation, les aspects théoriques et les résultats expérimentaux préliminaires obtenus seront présentés et discutés.
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