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Application de la Spectrométrie de Masse avec Microsonde à Laser à la Microélectronique

Jean-Pierre Schmit
Sylvie Beaudet
JS

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Jean-Pierre Schmit

Résumé du colloque

La miniaturisation de plus en plus poussée des composantes de microélectronique entraîne une complexité toujours plus grande des techniques analytiques modernes. Deux des exigences majeures rencontrées lors de l'analyse des microcircuits concernent la localisation spatiale précise (au micron) de la zone à analyser et la possibilité de moduler l'énergie d'ionisation de manière à permettre aussi bien l'analyse élémentaire qu'organique. Une microsonde à laser est utilisée visuellement par le biais d'un microscope et couplée à un spectromètre de masse temps de vol avec réflecteur électrostatique a été utilisée pour l'analyse sélective des défauts de différents microcircuits. Il sera montré qu'il est possible par cette technique de mettre en évidence la composition élémentaire des différentes composantes (couches) des modules électroniques étudiés ainsi que l'origine de certains de leurs défauts. De même, il sera montré que par atténuation du faisceau laser, il est possible de mettre en évidence la présence de résidus de photoresins qui sont supposées être la cause de nombreux rejets lors de la fabrication.

Contexte

Section :
Chimie analytique et minérale
news icon Thème du colloque :
Chimie analytique et minérale
host icon Hôte : Université de Montréal

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Titre du colloque :

Chimie analytique et minérale
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Thème du colloque :

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