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Applications à la microélectronique de couches minces organiques obtenues par décharge dans une vapeur monomère

RL

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R. Lacoste

Résumé du colloque

Cette communication porte sur deux applications des couches minces de polymères obtenus par décharge dans un gaz ou une vapeur monomère, du styrène dans le cas présent: ces applications sont relatives d'une part à la fabrication de microcondensateurs de forte capacité volumique, actuellement au stade du prédéveloppement, et d'autre part à la passivation des composants ainsi qu'à l'isolation entre couches des circuits intégrés.

Contexte

host icon Hôte : École polytechnique de Montréal

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