Colloque

Aspects de la pulvérisation cathodique à partir de cibles pulvérulentes

P. Lavallée

Membre a labase

P. Lavallée

Résumé du colloque

L'exploration des compositions de cibles nécessaires pour arriver à la synthèse d'un film de composition donnée peut être facilitée par l'utilisation de poudres. On expose les problèmes caractéristiques de ce genre de source de pulvérisation. On fera ressortir les avantages et les inconvénients de cette approche.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université du Québec à Trois-Rivières

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