Colloque

Calcul des profils de concentration du Ti diffusant dans un cristal de LiNbO_3

Marie Fontaine

André Delage

Dolf Landheer

Membre a labase

Marie Fontaine

Résumé du colloque

La diffusion d'un mince film de titane dans un cristal de niobate de lithium est un procédé expérimental de plus en plus utilisé pour la fabrication de guide d'onde optique dans les circuits intégrés. Selon les modes de propagation désirés, la diffusion en profondeur de même que la diffusion latérale doivent être bien contrôlées. L'importance de la diffusion latérale comparativement à la diffusion en profondeur est couramment attribuée à une anisotropie du cristal selon les directions de diffusion. Dépendamment des conditions expérimentales, cette hypothèse ne semble pas toujours vérifiée. Il est démontré que la présence de sites vacants de lithium à la surface affecte de façon importante la diffusion latérale. Pour tenir compte de ces sites vacants, nous utilisons un coefficient de diffusion variable, basé sur la profondeur plutôt que d'utiliser des coefficients de diffusion différents pour chaque direction. Nous pouvons ainsi reproduire des profils de concentration où la diffusion latérale est très importante comparativement à la diffusion en profondeur. Les résultats obtenus à partir de diverses méthodes de calcul, la méthode des valeurs propres et la méthode de relaxation, seront présentés.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université de Montréal

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