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Capteurs d'optique intégrée

François Séguin
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François Séguin

Résumé du colloque

L'échange ionique sur verre permet la fabrication de dispositifs optiques intégrés affichant de faibles pertes et de bonnes propriétés élastiques. Ces qualités ont été mises à profit pour la réalisation de capteurs de pression et d'accélération. Leur principe est basé sur la mesure du déphasage entre les bras d'un interféromètre Mach-Zehnder intégré réalisé par fibres optiques et utilisant un émetteur/récepteur. Un procédé d'échange double impliquant les ions K+, Na+ et Ag+, suivi d'un recuit à l'air libre à 465 °C, a été utilisé afin d'obtenir un confinement modal élevé, et de réduire la taille des dispositifs. Un modèle opto-élastique à 6 degrés de liberté a permis de prédire les dimensions de chaque substrat et le parcours des guides d'onde. Une cavité circulaire est pratiquée au dos du substrat grâce à un procédé de gravure chimique à l'acide fluorhydrique. Cette cavité définit une membrane qui peut être soumise soit à un différentiel de pression, soit à une charge concentrée produite par une masse sismique en accélération. Après conditionnement, les capteurs ont été mis à l'essai sur des plages de 360 KPa et +/- 200 m/s², respectivement. Leur précision est comparable à celle des capteurs électriques utilisés pour cette évaluation.

Contexte

Section :
Optique guidée et photonique 3
news icon Thème du colloque :
Optique guidée et photonique 3
host icon Hôte : Université du Québec à Montréal

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Titre du colloque :

Optique guidée et photonique 3
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