Colloque

Caractérisation d'un plasma d'onde de surface en confinement magnétique multipolaire

S. Simard

M. Moisan

J. Margot

Membre a labase

S. Simard

Résumé du colloque

Plusieurs procédés de traitement par plasma comme la gravure et le dépôt requièrent de grands volumes de plasma homogène, stable, dense à des pressions inférieures ou de l'ordre du mTorr. Les décharges créées en confinement multipolaire répondent à ces critères. Toutefois, les plasmas multipolaires traditionnels, i.e. entretenus à l'aide de filaments thermoémissifs, présentent certains inconvénients reliés à la présence même de ces filaments (durée de vie limitée, contamination ...). La solution que nous proposons est de produire le plasma au moyen d'une onde électromagnétique de surface. Un des avantages de notre approche est que la présence du champ magnétique permet d'instaurer un régime d'absorption résonnante de l'onde par le plasma (résonance cyclotronique électronique). Les résultats d'une étude expérimentale et théorique des caractéristiques de l'onde ainsi que des propriétés de ce nouveau type de plasma seront présentés.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université de Montréal

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