Colloque

Caractérisation d'une décharge de résonance cyclotronique électronique (RCE) produite par une onde de surface

Rémy Grenier

Joëlle Margot

Michel Moisan

Membre a labase

Rémy Grenier

Résumé du colloque

Les plasma micro-ondes produits à la RCE sont perçus actuellement par la communauté scientifique comme un substitut futur aux décharges capacitives pour le traitement de matériaux. Ceci résulte entre autres des pressions réduites auxquelles ces plasmas fonctionnent, ce qui permet d'envisager leur utilisation pour la reproduction de motifs sub-microniques. Ces dernières années, il est apparu que l'étude exhaustive des caractéristiques des plasmas de RCE s'avère indispensable si l'on veut élaborer des modèles de décharge permettant d'en prédire les propriétés dans des conditions expérimentales données. À cet effet, on se doit de mettre au point des méthodes de diagnostic fiables. Dans cette communication, nous présentons des résultats de densité électronique et de températures électronique et ionique obtenus à partir de divers diagnostics dans un plasma de type RCE produit par une onde de surface. Nous examinons aussi les avantages et inconvénients de chacune des méthodes.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université de Montréal

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