Colloque

Conception et réalisation d'un système d'analyse des surfaces par rétrodiffusion Rutherford

Gerald Heckman

Emile Knystautas

Membre a labase

Gerald Heckman

Résumé du colloque

Nous avons conçu et réalisé un système d'analyse des surfaces de cibles métalliques comportant des couches minces basé sur la rétrodiffusion Rutherford d'ions d'énergie inférieure à 100 keV. L'élément principal de ce système est un analyseur électrostatique à plaques parallèles. Les ions pénètrent dans l'analyseur avec un angle d'incidence de 30° ce qui permet une focalisation de deuxième ordre et devrait nous fournir une résolution d'environ 1 %. Un multiplicateur d'électrons sera utilisé pour compter les ions analysés. Des expériences ayant pour but de vérifier le fonctionnement de l'analyseur auront lieu d'ici peu. Nous ferons une brève révision des principes fondamentaux de la rétrodiffusion Rutherford (facteur cinématique, section efficace de collision, section efficace d'arrêt et distribution statistique en énergie des ions) et de l'effet de ces paramètres sur la résolution en profondeur et masse d'un système d'analyse par RDR. Nous espérons aussi pouvoir discuter de certains des résultats que nous aurons obtenus à propos du fonctionnement de notre système.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université Laval

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