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Création d'un plasma homogène de grand volume à l'aide d'une structure à ondes de fuite

Gaston Sauvé
Zénon Zakrzewski
Michel Moisan
GS

Membre a labase

Gaston Sauvé

Résumé du colloque

Un rayonnement électromagnétique peut émerger d'une ou plusieurs fentes pratiquées dans le grand côté d'un guide d'ondes rectangulaire. Ce principe, précédemment utilisé pour la conception d'antennes, connaît depuis quelques années un nouvel essor. En effet, de telles structures permettent également d'ioniser un gaz maintenu sous une pression réduite. Cette communication est consacrée à deux aspects essentiels de ce type de décharge. Tout d'abord l'efficacité de l'applicateur micro-onde, en l'occurrence une version modifiée du GL-512 fabriqué par la compagnie Gerling (2.45 GHz, 0.3 metre, WR-430), sera examinée. Des mesures de densité électronique obtenues à partir de sondes électrostatiques de Langmuir nous permettront, par la suite, de déterminer le degré d'homogénéité d'un plasma d'argent produit à des pression comprises entre 50 et 1000 mTorr, dans une enceinte de 13 litres.

Contexte

Section :
Physique
news icon Thème du colloque :
Physique
host icon Hôte : Université de Montréal

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Titre du colloque :

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