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Destruction des gaz à effet de serre par une décharge micro-ondes entretenue à la pression atmosphérique

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Martin Nantel-Valiquette

Résumé du colloque

Les plasmas offrent une approche innovante et prometteuse dans le domaine de la détoxication de gaz nuisibles à l'homme et à son environnement. En particulier, les plasmas micro-ondes entretenus à la pression atmosphérique permettent de réduire efficacement et de façon écologique un certain nombre de gaz à effet de serre. Nous allons considérer le cas particulier de la destruction de gaz perfluorés tels le SF6 et le CF4 (utilisés en microélectronique) suite à leur passage dans une décharge micro-ondes entretenue par une onde de surface à la pression atmosphérique. Nous analyserons l'influence des paramètres opératoires (puissance micro-ondes, concentration et débit des gaz) sur l'efficacité de destruction et examinerons les mécanismes physico-chimiques de destruction du SF6 et CF4 en présence d'oxygène ou de vapeur d'eau. Nous analyserons également le coût énergétique relié à un tel procédé en fonction des conditions de décharge. Nous montrerons qu'il est finalement possible d'atteindre des taux de destruction supérieurs à 95 % pour le SF6 et le CF4, pourvu que la puissance micro-ondes soit suffisamment élevée et le rayon du tube à décharge petit.

Contexte

news icon Thème du colloque :
Science et ingénierie des plasmas
host icon Hôte : Université du Québec à Montréal

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Thème du colloque :

Science et ingénierie des plasmas