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Développement de détecteurs bolométriques non refroidis pour détection et imagerie infrarouge

Christine Alain
H. Jerominek
F. Picard
T Pope
W. Fuchs
R Zhang
M Lehoux
G Bilodeau
CA

Membre a labase

Christine Alain

Résumé du colloque

Plusieurs prototypes de détecteurs bolométriques non refroidis, dédiés à la détection et à l'imagerie infrarouge, ont été développés à l'INO. Ces détecteurs sont construits en utilisant des procédés de micro-usinage de surface ou de volume, combinés au dépôt d'une couche détectrice de VO2 ayant un coefficient de température de la résistance de l'ordre de -3 % / °C. Les dimensions latérales de chacun de ces détecteurs varient de 50x50 µm2 à 100x100 µm2. Ils présentent une sensibilité allant jusqu'à 15 000 V/W, une détectivité normée (D*) de plus de 108 cm·Hz1/2/W et un temps de réponse de moins de 20 ms. Des barrettes, dont les dimensions varient de 1x64 à 1x256 pixels, ainsi que des matrices de 64x64, 128x128 et 320x240 pixels ont été fabriquées. Un procédé conventionnel CMOS 1.5 µm a été utilisé pour produire les circuits de lecture sous-jacents. Les dispositifs fabriqués sont scellés sous vide dans un boîtier fait sur mesure et comportant une fenêtre de germanium. Lors de la conférence, les limites théoriques des performances, les méthodes de fabrication ainsi que les résultats de la caractérisation de ces prototypes seront discutés.

Contexte

Section :
Optique guidée et photonique 5
news icon Thème du colloque :
Optique guidée et photonique 5
host icon Hôte : Université Laval

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Titre du colloque :

Optique guidée et photonique 5
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Thème du colloque :

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