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Difficultés inhérentes à l'emploi de sondes électrostatiques dans un plasma R.F.

André Cantin
Réal Gagné
AC

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André Cantin

Résumé du colloque

Le comportement de sondes électrostatiques dans un plasma, nourri par radio-fréquence, a été étudié. Les résultats présentés illustrent l'effet perturbateur, sur la forme des caractéristiques I-V de la sonde, d'un potentiel R.F. à la jonction sonde-plasma. Une augmentation du courant d'ions est observée, et les températures électroniques déduites de telles caractéristiques sont faussées par un facteur deux à trois. Des modifications apportées à la sonde ainsi qu'au circuit de mesure associé permettent de minimiser la chute de potentiel R.F. à la jonction plasma-sonde et d'obtenir une caractéristique I-V valable. Des résultats en ce sens sont présentés.

Contexte

Section :
Physique: physique générale
news icon Thème du colloque :
Physique: physique générale
manager icon Responsables :
J. Lefaivre
host icon Hôte : Université d’Ottawa

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Titre du colloque :

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