Colloque

Ellipsométrie à longueurs d'onde multiples: épaisseur et indices de réfraction de films minces, uniaxials, non absorbants

D. Ducharme

R.M. Leblanc

A.F. Antippa

Membre a labase

D. Ducharme

Résumé du colloque

L'ellipsométrie à longueurs d'onde multiples a été proposée par Ayoub et Bashara comme une méthode capable de caractériser un film mince, uniaxial, déposé sur un substrat non absorbant. Selon ces auteurs, si l'on mesure la différence de phase δ = A−Δ on obtient une solution unique pour les indices de réfraction du film (nμ et n∥) et l'épaisseur de celui-ci (d). Cette solution existe si par le biais de varier n3, on n'affecte pas les valeurs de nμ, n∥ et d. Leur argument est qu'en mesurant δ pour trois valeurs différente de n3, ils égèrent trois équations simultanées pour les trois inconnus nμ, n∥ et d. Dans le cas où la dispersion dans ce film est négligeable comparée à la dispersion dans le substrat, n3 peut être varié en changeant la longueur d'onde incidente et en maintenant nμ, n∥ et d constants. Le but de cette communication est de prouver que les trois équations simultanées obtenues en évaluant δ pour trois valeurs d'indices n3, ne sont pas linéairement indépendantes à moins que l'on varie également l'indice de réfraction du milieu ambiant.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université du Québec à Trois-Rivières

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