Colloque

Étude quantitative de la concentration en hydrogène atomique dans des décharges HF d'hydrogène

Louis St-Onge

Michel Moisan

Membre a labase

Louis St-Onge

Résumé du colloque

Le diamant, de par ses propriétés physiques exceptionnelles, suscite dans l'industrie un intérêt sans cesse grandissant. Les procédés de dépôt par plasma à basse pression permettent d'obtenir des films polycristallins de diamant se prêtant bien à diverses applications. En plus du méthane qui fournit le carbone nécessaire à la croissance du cristal de diamant, on ajoute au plasma de grandes quantités d'hydrogène. Lors du dépôt, l'hydrogène atomique joue un rôle crucial puisqu'il stabilise la phase diamant et élimine le graphite pouvant également se déposer. Il est donc nécessaire de favoriser la dissociation des molécules d'hydrogène dans ces plasmas. Par la spectroscopie d'absorption UV, il nous a été possible, en faisant varier les paramètres du plasma (pression, fréquence d'excitation, densité électronique), de définir les conditions optimales pour la production d'hydrogène atomique.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université de Montréal

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