Colloque

Fabrication de composants photoniques intégrés par interdiffusion de puits quantiques induite par implantation ionique à faible énergie

Vincent Aimez

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Vincent Aimez

Résumé du colloque

La complexité des systèmes de télécommunications par fibre optique évolue rapidement de façon à offrir plus de bande passante. Comme ce fut le cas pour l'industrie de la microélectronique, l'intégration de composants photoniques avancés est requise pour la production de composants de haute qualité aux fonctions multiples. L'interdiffusion de puits quantiques "Quantum well intermixing" (QWI) est une technique riche en potentiel de retombées industrielles. En effet, par cette méthode, il est possible de contrôler les propriétés des hétérostructures de matériaux III-V après croissance épitaxiale, dans le but de fabriquer des composants photoniques intégrés. Notre groupe de recherche à l'Université de Sherbrooke travaille sur le développement de la technique d'interdiffusion de puits quantiques induite par implantation ionique à faible énergie qui possède l'avantage d'être largement compatible avec les standards de fabrication actuels de l'industrie de la microélectronique. La première partie de cette présentation sera consacrée à la fabrication et à la caractérisation de diodes laser discrètes décalées en longueur d'onde, de haute qualité, permettant de vérifier les capacités de la technique d'interdiffusion utilisée. Ensuite, les résultats obtenus concernant la fabrication contrôlée et la caractérisation de composants laser-modulateurs intra cavité sur hétérostructure à base d'InP par interdiffusion de puits quantiques seront présentés. De nouveaux systèmes de masquage ionique ont également été développés; ces masques d'épaisseurs multiples permettent, en une seule étape d'implantation ionique, de générer une quantité variable de défauts ponctuels dans les échantillons, et par conséquent d'obtenir plusieurs niveaux de décalage en longueur d'onde tout en conservant un contrôle spatial des modifications induites. Les résultats obtenus avec cette méthode sont illustrés par la fabrication de dispositifs laser multi-longueur d'onde intégrés monolithiquement.

Contexte

Section :

Matériaux et composants photoniques

Thème du colloque :

Matériaux et composants photoniques

Hôte : Université de Sherbrooke

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Titre du colloque :

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