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Fabrication de guides d'onde en verre chalcogénure As-S-(Se) pour l'optique intégrée

Karine Le Foulgoc
Kathleen Richardson
Alain Villeneuve
Jean-François Viens
KL

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Karine Le Foulgoc

Résumé du colloque

De part leurs qualités intrinsèques très intéressantes, les verres chalcogénures en As-S-(Se) apparaissent comme de bons candidats tant pour des applications en optique passive (jonction Y, multiplexeur, capteur, lentille...) que pour des applications en optique active (microlaser, amplificateur pour les télécommunications). Les compositions vitreuses As2S3 et As24S38Se38 (dopées aux terres rares ou non) présentant des propriétés physiques et optiques uniques dans l’infrarouge, ont été sélectionnées pour la réalisation de guides d’onde intégrés à structure monocouche ou multicouche. Les couches minces de chalcogénure sont déposées sur des substrats SiO2/Si, par évaporation thermique. Un procédé lithographique a été développé pour la fabrication de guides d’onde canaux. Des pertes de propagation de moins de 1dB/cm à 1300 nm, sont généralement obtenues sur des guides plans As-S. L’influence critique de divers paramètres tels que l’âge du guide, les procédures de recuit thermique, la structure des composants considérés et la qualité optique du matériau vitreux, sur les mesures de pertes dans les guides As-S-(Se) sera également discutée. Une optimisation des procédés de fabrication des guides plans et canaux est en cours et devrait permettre une amélioration de la qualité optique de surface des films. Les effets photosensibles dans les couches minces de verre As-S-(Se) seront également présentés. Nous avons procédé à la caractérisation des différents effets photo-induits et développé certains dispositifs intégrés. Ces études ont permis l’élaboration de guides d’onde intégrés à double cœur et de coupleurs directionnels verticaux. Ces nouveaux microcircuits ont été greffés sur des structures multicouches en verre chalcogénure par écriture laser argon.

Contexte

Section :
Optique guidée et photonique 5
news icon Thème du colloque :
Optique guidée et photonique 5
host icon Hôte : Université Laval

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Titre du colloque :

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Thème du colloque :

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