Colloque

Fabrication de guides d'ondes plans en ZBLAN par implantation ionique de He+

Yunfei Zhao

M. Saad

Sophie Larochelle

Alain Villeneuve

É. J. Knystautas

K. Lefoulgoc

Membre a labase

Yunfei Zhao

Résumé du colloque

Des guides d'ondes plans en verre de ZBLAN ont été fabriqués par implantation ionique d'hélium avec un accélérateur Van de Graaff. Pour le premier échantillon, l'implantation des ions d'hélium a été faite à une énergie de 4.0 MeV, un courant d'environ 0.2 mA cm-2 et à un dosage de 1016 ions cm-2. Le parcours longitudinal (profondeur) et l'étalement, calculés en utilisant le programme de TRIM92, sont évalués respectivement à 11.0 mm et 204 nm. Les propriétés optiques des guides d'ondes ont été examinées à la longueur d'onde d'un laser He-Ne (632.8 nm). L'absorption induite par l'implantation ionique est environ 2.9 % en illumination transverse. L'examen du champ proche révèle la présence d'un guide d'ondes plan monomode. La dimension transverse de la région guidée est environ 8.8 mm, immédiatement au-dessous de la surface. Ce résultat permet de conclure que le changement de l'indice de réfraction dans le verre de ZBLAN induit par l'implantation ionique de hélium est négatif. Basé sur la mesure de lumière diffusée, la perte optique sans recuit est inférieure à 2.9 dB/cm. À partir de calculs effectués avec BPM-CAD de la compagnie Optiwave, le changement de l'indice de réfraction se situe entre -1´10-4 et -1 ´ 10-3. Le signe du changement de l'indice de réfraction dans le verre ZBLAN et le parcours longitudinal prédit par le code de TRIM92 ont été vérifiés par une expérience de double implantation à des énergies de 2 MeV et de 4 MeV respectivement. Le champ proche des régions guidantes a été mesuré. La distance entre la surface et le premier minimum de la puissance optique, correspondant à la région implanté avec une énergie de 2 MeV, est de 5.1 mm confirmant le calcul de TRIM92 qui prédisait une valeur de 5.0 mm.