Colloque

Fabrication de miroirs à incidence normale pour la région spectrale 20 - 40 nm

Marius Grigonis

Emile J. Knystautas

Membre a labase

Marius Grigonis

Résumé du colloque

Nous rapportons pour la première fois l'utilisation de nouvelles combinaisons de divers matériaux pour la fabrication de miroirs multicouches de haute reflectivité (>20%) " quasi-normale " dans la région des longueurs d'onde situées au-delà de 23 nm. Les multicouches ont été fabriquées grâce à un système de pulvérisation cathodique ("sputtering") et ont été analysées par la technique des rayons X à incidence rasante. Elles ont également été analysées au microscope électronique par transmission et caractérisées par les mesures de réflectivité à incidence normale. La lumière émise par des particules excitées d'hélium ou de néon et dispersée par le monochromateur à incidence rasante McPherson 2.2 m a été utilisée comme source de photons XUV. Les mesures ont été effectuées par un dispositif placé à la sortie du monochromateur qui permettent la variation de l'angle d'incidence entre 5º et 45º. Les reflectivités mesurées expérimentalement sont comparées à celles des miroirs constitués d'une couche simple d'or (Au) ou de platine (Pt) qui ont été considérés jusqu'ici comme des matériaux les plus réfléchissants dans cette région de longueur d'onde.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université McGill

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