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Intégration monolithique de diodes laser et de guides d'ondes passifs par la méthode d'interdiffusion de puits quantiques induite par implantation ionique à faible énergie

Dominique Gauthier
Jacques Beauvais
Vincent Aimez
Jean Beerens
Claude Belisle
DG

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Dominique Gauthier

Résumé du colloque

Le domaine de la photonique est actuellement en pleine expansion. En effet, de nombreux travaux de recherche sont déployés dans le but de mettre en œuvre des méthodes de fabrication de composants photoniques intégrés. L'intégration monolithique de composants photoniques est indispensable pour permettre l'évolution de la capacité et par conséquent de la complexité de nombreux systèmes optiques, tout comme ce fut le cas pour l'industrie de la microélectronique pour la fabrication de microprocesseurs. La méthode de fabrication de circuits intégrés photoniques à base d'hétérostructures sur substrats d'InP utilisés pour nos travaux est basée sur l'utilisation d'un implanteur ionique industriel pour l'induction de l'interdiffusion de puits quantiques. Par cette méthode ne nécessitant pas de reprise d'épitaxie, il est possible de contrôler la modification du profil de bandes d'une hétérostructure avec une grande résolution spatiale. Il est par exemple possible d'intégrer monolithiquement des sources laser à longueurs d'onde multiples ou bien encore de fabriquer des lasers à cavité étendue, soit l'intégration de guides d'ondes passifs de faibles pertes avec des diodes laser. Ce type de composants constitue la première étape de la fabrication de structures laser à absorbant saturable pouvant être utilisé pour la génération de fréquences RF.

Contexte

Section :
Optique guidée et photonique 7
news icon Thème du colloque :
Optique guidée et photonique 7
host icon Hôte : Université Laval

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Titre du colloque :

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