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La fabrication de structures mesa pour les composants optoélectroniques sur InGaAsP/InP

Habib Mani
Benoît Reid
Romain Maciejko
HM

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Habib Mani

Résumé du colloque

Dans le but d'obtenir des composants actifs à partir de guide en canal de matériau InGaAsP/InP, nous avons étudié les profils obtenus à partir d'une étude systématique de l'attaque chimique à base de solutions liquides. En plus des guides en canal et des sections coniques, nous avons étudié les profils obtenus lors de l'attaque de structures triangulaires, donc de section variable. Les structures de section variable sont d'un intérêt particulier pour les couples et les modulateurs optiques. Les différents paramètres de concentration des solutions, de température et d'agitation mécanique ont été étudiés en détail.

Contexte

Section :
Optique guidée et photonique II
news icon Thème du colloque :
Optique guidée et photonique II
host icon Hôte : Université de Montréal

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Titre du colloque :

Optique guidée et photonique II
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Thème du colloque :

Optique guidée et photonique II
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La fabrication de structures mesa pour les composants optoélectroniques sur InGaAsP/InP
Habib Mani
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