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La gravure de polymères par plasma micro-onde

Boris Lamontagne
Alexander M. Wrobel
Michael R. Wertheimer
BL

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Boris Lamontagne

Résumé du colloque

La gravure de polymères organiques par un plasma "froid" est devenu important dans plusieurs domaines d'applications de la micro-électronique. Nous avons utilisé un plasma micro-onde (2.45 GHz) d'un mélange gazeux de O2/C4F8 de composition variable afin d'étudier la gravure du polyimide, du nylon, du mylar, du polycarbonate et du polyéthylène. Les travaux ont été réalisés à l'aide d'un nouveau réacteur de plasma permettant la gravure uniforme d'un échantillon de grande surface (700 cm^2); ceci a été possible grâce à un nouveau concept de répartition et de densification du porte-échantillon. Nous avons étudié l'effet de plusieurs paramètres opératoires: pression, débit, composition du gaz, puissance et température de l'échantillon. Nous discuterons de ces résultats et proposerons un mécanisme pour ces réactions.

Contexte

Section :
Génie des matériaux/Métallurgie
news icon Thème du colloque :
Génie des matériaux/Métallurgie
host icon Hôte : Université d’Ottawa

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Titre du colloque :

Génie des matériaux/Métallurgie
Erosion - corrosion d'alliages cuivre-nickel dans l'eau de mer naturelle ou synthétique
Chantal Berthelot
Étude et applications industrielles de l'électroformage du nickel
Bernard Masson
Recuît en continu de tôles d'aciers calmés à l'aluminium
Claude Galvani
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Thème du colloque :

Génie des matériaux/Métallurgie
Étude de la déposition de métaux par pulvérisation et évaporation sur c-Si (100)
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