Colloque

Les polymères pour la microélectronique: synthèse et applications de polymères organiques sensibles aux radiations

Jean M.J. Fréchet

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Jean M.J. Fréchet

Résumé du colloque

Un nouveau concept pour la préparation de polymères sensibles aux radiations utilisés en microélectronique repose sur le principe de l'amplification chimique qui permet une augmentation considérable de la sensibilité tout en maintenant une très bonne résolution. L'amplification chimique est réalisée avec de nouvelles structures incorporant des liaisons labiles sujettes à multiples fractures par un mécanisme de réactions en chaîne ou de dépolymérisation catalytique. Les exemples de choix de telles structures comprennent des polycarbonates contenant des groupements protecteurs photosensibles et sujets à des réarrangements intramoléculaires, des polyacétals et polycarbonates sensibles à une acidolyse catalytique et d'autres polymères dans lesquels l'irradiation produit un changement catalytique de propriétés physiques permettant le développement d'images de haute résolution. Le principe de l'amplification chimique et son application à la synthèse de nouvelles structures sont discutés.

Contexte

Section :

Chimie organique

Thème du colloque :

Chimie organique

Hôte : Université de Montréal

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Titre du colloque :

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