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Matrices de micromiroirs déformables

A. Jean
J. M. Lacroix
F. Picard
M. Renaud
H. Jeronimo
M. Tremblay
AJ

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A. Jean

Résumé du colloque

Les dispositifs microélectromécaniques présentent un très fort potentiel dans le domaine photonique (modulateurs passifs de lumière, réseaux neuroniques optiques, ...). Nous présentons des dispositifs prototypes en silicium qui ont été fabriqués en adaptant les techniques conventionnelles de fabrication des composants microélectroniques. Des matrices (1x5 et 4x4) de micromiroirs déformables ont ainsi été fabriquées par gravure au canon à ions d'une membrane de silicium de 1µm d'épaisseur obtenue par gravure chimique au KOH d'une gaufre de Si (100). Chaque micromiroir de la matrice (surface active 50µmx50µm) est maintenu à ses extrémités par deux bras de torsion (largeur 1µm, longueur 40µm) juste à quelques µm de distance au-dessus d'électrodes métalliques. Les films métalliques de Cr/Au d'épaisseur totale de 1500 ont été déposés sous vide sur un substrat de Si par évaporation thermique au canon à électrons. L'espacement (4µm) entre les micromiroirs et les électrodes est assuré par un film polyimide. Afin de caractériser le fonctionnement analogique et digital des micromiroirs des méthodes de mesure basées sur l'interférométrie et des techniques laser ont été développées. Les caractéristiques typiques mesurées sur les micromiroirs sont un angle de déviation maximum de 6° pour une tension de commande d'environ 37V, une fréquence de résonance voisine de 55kHz. Des mesures préliminaires de temps de vie des dispositifs montre que les performances des micromiroirs ne se sont pas dégradées après quelques 10^10 cycles.

Contexte

Section :
Optique guidée et photonique 3
news icon Thème du colloque :
Optique guidée et photonique 3
host icon Hôte : Université du Québec à Montréal

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Titre du colloque :

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