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Micro-éléments réflectifs fabriqués par transportation de masse pour interconnexions en optique intégrée planaire

YunLong Sheng
Li Song
Claude Delisle
Louis Moreau
Henri H. Arsenault
Roger A. Lessard
YS

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YunLong Sheng

Résumé du colloque

L'optique intégrée planaire est une nouvelle technologie développée pour les interconnexions optiques entre les circuits intégrés optoélectronique. Dans cette approche, la lumière se propage en zigzag entre deux surfaces d'un substrat et les éléments optiques sont fabriqués sur l'une des surfaces par des méthodes de fabrication de circuits intégrés électroniques. Cette architecture est bien adaptée à la technologie des circuits intégrés de très large dimension (VLSI). Nous proposons d'utiliser la technique de la transportation de masse pour fabriquer les micro-éléments réflectifs sur le substrat. La précision requise pour les applications aux interconnexions optiques peut être obtenue par cette méthode. Les résultats expérimentaux préliminaires utilisant une technique de micro-gravure sur une couche de photoresist seront présentés.

Contexte

Section :
Physique
news icon Thème du colloque :
Physique
host icon Hôte : Université de Sherbrooke

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