Colloque

Miroirs multicouches pour rayons X-UV à incidence normale

Claude Montcalm

Brian T. Sullivan

Jerzy A. Dobrowolski

Henri Pépin

Membre a labase

Claude Montcalm

Résumé du colloque

Les miroirs pour rayons X-UV (40 ≤λ≤400 ) à incidence normale trouvent des applications dans des domaines aussi divers que l’astronomie, la microélectronique, la spectroscopie, les lasers et l’holographie. Pour obtenir de forts coefficients de réflexion dans cette région spectrale, il est nécessaire d’utiliser des structures multicouches conçues de manière à obtenir une interférence constructive entre les faisceaux réfléchis par les différentes interfaces. Pour matériaux, nous avons choisi d’utiliser des combinaisons molybdène-silicium en raison de leurs propriétés optiques et pour des raisons de coût. Les multicouches ont été fabriquées par pulvérisation et assisté de magnétrons. Des analyses par microscopie électronique en transmission et diffraction X à incidence rasante ont permis de confirmer la grande qualité des multicouches. Une réflectivité de 59% autour de 134 a été mesurée en employant la radiation synchrotron à incidence quasi-normale. Cette valeur est proche du maximum théorique pour ce type de miroir et se compare favorablement avec celles obtenues par d’autres groupes renommés.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université de Montréal

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