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Résumé du colloque
On a étudié l'influence de divers paramètres sur la réaction de polymérisation du benzène dans un plasma radio-fréquence à couplage capacitif. Le degré de polymérisation, suivi par chromatographie, par perméation sur gel (GPC), dépend essentiellement de la pression et de la puissance. Un mécanisme de formation en deux étapes est proposé: les polymères seraient tout d'abord formés en phase gazeuse, puis diffuseraient vers les parois et les électrodes, où ils pourraient continuer à croître selon un mécanisme du type polymérisation en émulsion. Des effets de "sputtering" et de pyrolyse sont suggérés pour rendre compte des observations additionnelles sur les films préparés à basse et haute pression.
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