Colloque

Profil des paramètres de décharge dans un prototype de réacteur plasma à excitation par micro-ondes et au chauffage par la résonance cyclotronique électronique en...

Carmen Ciubotariu

Membre a labase

Carmen Ciubotariu

Résumé du colloque

La source de plasma ECRIN (Electron cyclotron resonance ions négatifs) est un prototype de réacteur plasma à excitation micro-ondes (mw (2,45 Ghz) en volume, dans un champ magnétique multipolaire où les paramètres de la décharge ont été optimisés afin qu'ils fournissent les faisceaux de particules pour le dépôt de couches minces. Ce nouveau dispositif est formé d'un applicateur mw (en mode TE10, champ électrique maximum 240 V/cm à 500 W), d'aimants permanents à l'entrée mw (zone RCE primaire), de la chambre cylindrique ECRIN (cavité multi-mode) et d'un fond muni d'une grille d'extraction. ECRIN peut devenir un modèle de source de plasma (de l'hydrogène, de l'argon, de l'azote ou des mélanges de gaz) pour le traitement de surfaces par implantation ionique et les premiers essais ont aussi montré que le profil du potentiel plasma produit des conditions optimales de l'extraction des particules pour le bombardement sélectif d'un substrat, ceci ayant des applications dans l'industrie de composants opto-électroniques. L'étude théorique des trajectoires et du confinement des électrons dans le multipôle, en présence du champ électrique des modes mw qui se forment dans l'enceinte d'ECRIN a montré que dans certaines conditions de décharge, le chauffage des électrons devient important, ce qui contribue à la formation d'ions positifs énergétiques en aval de la source de plasma ou à la neutralisation des ions négatifs de l'hydrogène. Dans ce régime de fonctionnement, la source de plasma est un modèle de neutralisateur de particules pour les installations de fusion.