Colloque

Profilomètre optique

Bruno Labranche

Benoît Jean

Pierre Lavigne

Membre a labase

Bruno Labranche

Résumé du colloque

Les stylets mécaniques habituellement utilisés dans les mesures de profil nécessitent un contact physique avec la surface à mesurer et donnent des mesures erronées lorsque celle-ci est fragile. Le but de cette expérience est de mettre au point un stylet optique qui permette de faire de la profilométrie sans contact. La résolution désirée est de 0.1 micron et la gamme dynamique de 100 microns. Trois principes différents de faire de la profilométrie sans contact ont été étudiés: mesure de l'ovalité du faisceau réfléchi par un système astigmatique, mesure de l'angle du faisceau réfléchi par une surface à grande ouverture numérique et enfin, l'interférométrie hétérodyne. Suite à la description des principes envisagés, les résultats expérimentaux obtenus à partir du système astigmatique sont exposés. Les résultats obtenus limitent cependant les solutions décrites. Une résolution supérieure à 0.1 micron a pu être atteinte sur des surfaces de bonne qualité. La plage dynamique de 100 microns a effectivement été atteinte.

Contexte

Section :

Physique

Thème du colloque :

Physique

Hôte : Université d’Ottawa

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Titre du colloque :

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