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Propriétés cristallographiques, électriques et optiques des couches minces de Titanate de Barium obtenues par déposition organométallique

Wahib Ousli Benomar
Amarjit Singh
Roger A. Lessard
WO

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Wahib Ousli Benomar

Résumé du colloque

Des films minces de Titanate de Barium ont été réalisés par déposition organométallique. Technique qui consiste à dissoudre un organométallique dans un solvant adéquat avec la concentration correspondant à l'épaisseur désirée. Les films sont ensuite portés à des températures de 600°C et subissent une décomposition qui va aboutir à la formation de l'oxyde de l'élément présent dans le précurseur. Les organométalliques contenant le Barium et le Titane sont dissous dans le xylène et sont mélangés ensemble de façon équimolaire. Quelques gouttes de cette solution sont ensuite déposées sur une lame de quartz ou de Saphir et sont soumises à des rotations de quelques unités de tours par minute de façon à obtenir une couche uniforme. Le film obtenu est chauffé à 600°C pour donner du BaTiO3 amorphe. Des recuits à des températures plus élevées sont nécessaires pour cristalliser ces films. La structure des couches a été caractérisée par la diffraction des rayons X. Le gap d'énergie a été mesuré pour les couches cristallisées. Des mesures d'indice de réfraction ont été effectuées par ellipsométrie et donnent des valeurs voisines de celles obtenues pour les mêmes matériaux préparés par R.F sputtering. La variation de la constante diélectrique avec la température montre un pic au voisinage de 140°C confirmant une transition de phase à cette température.

Contexte

Section :
Effets optiques en couche mince
news icon Thème du colloque :
Effets optiques en couche mince
host icon Hôte : Université du Québec à Rimouski

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Titre du colloque :

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