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Résumé du colloque
L'outil de base que nous utilisons maintenant depuis plusieurs années, est le faisceau électronique. C'est un outil remarquable, bien connu pour sa finesse et sa flexibilité. En effet, d'une part, la focalisation du faisceau peut être nanométrique, et d'autre part, le faisceau étant chargé, il peut être déplacé à volonté avec une précision du même ordre que sa focalisation. On sait depuis longtemps qu'un faisceau électronique interagissant avec un matériau produit des radiations secondaires (luminescence, électrons secondaires), mais on sait moins qu'il produit aussi des modifications de structure et de charge électrique si le matériau-cible est isolant. Ces derniers effets sont ainsi moins bien connus, alors que leurs potentialités dans le domaine de l'optique mais aussi dans d'autres, sont grandes. Je décrirais donc les différents évènements qui se produisent quand un faisceau d'électrons pénètre dans un matériau isolant et transparent. Nous verrons qu'à partir de la mesure du rendement électronique secondaire, on peut obtenir une information sur des champs électriques locaux, sur des densités de pièges, sur la résistivité à fort champ, sur la stabilité de charges piégées ou comment conférer des propriétés optiques non linéaires au matériau (poling). Je montrerai aussi qu'au delà d'une certaine énergie d'accélération des électrons et d'une certaine dose, le faisceau électronique est un outil d'écriture de circuits optiques ou de marquage des surfaces.
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