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Un amplificateur de courant pour la microscopie électronique à balayage

R. Beaulieu
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R. Beaulieu

Résumé du colloque

La méthode d'utilisation en courant induit par faisceau d'électronique est importante pour l'analyse des semiconducteurs puisqu'on peut en déduire l'intensité du champ électrique, la largeur de la zone désertée de la jonction p-n, et la distribution des impuretés. Cette méthode d'analyse d'échantillons dans le MEB est limitée par les caractéristiques des amplificateurs de courant. Les amplificateurs disponibles sur le marché sont limités en terme de la bande passante et de gain. Un amplificateur fut conçu pour surmonter ces limitations. Cet amplificateur permet l'observation et la microphotographie d'échantillons avec un faisceau d'électrons de cinq mille volts et d'un micro-ampère ou de vingt mille volts et d'un nano-ampère.

Contexte

Section :
Génie électrique : électronique et état solide
news icon Thème du colloque :
Génie électrique : électronique et état solide
host icon Hôte : Université d’Ottawa

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Titre du colloque :

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