Colloque

Un modèle à deux températures du plasma généré par induction à haute fréquence

Javad Mostaghimi

Pierre Proulx

Maher Boulos

Membre a labase

Javad Mostaghimi

Résumé du colloque

Dans l'analyse des caractéristiques des plasmas générés par induction, l'hypothèse d'équilibre thermodynamique local (ETL) est fréquemment adoptée. Ceci implique que le plasma peut être représenté localement par une seule température. Cependant, à cause de la faible masse des électrons, il est possible que la température des électrons soit différente de celle des atomes et ions. On présente ici un modèle à deux températures pour le calcul des champs de température et d'écoulement dans un plasma à induction. Les résultats présentés pour le cas d'un plasma d'argon à une pression de 5 kW, un débit de gaz plasmagène de 37 lpm et une fréquence du générateur de 3 MHz, démontrent que la pression a un effet important sur l'existence de l'ETL. À des pressions réduites, inférieures à la pression atmosphérique, la différence entre la température des électrons et celle des atomes-ions augmente avec la réduction de la pression.

Contexte

Section :

Génie chimique

Thème du colloque :

Génie chimique

Hôte : Université de Montréal

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