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Un spectromètre électrostatique plan de type fontaine et son optique électronique

Claude Bouchard
Jean-Denis Carette
CB

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Claude Bouchard

Résumé du colloque

L'étude des électrons secondaires émis par une surface soumise à un bombardement électronique constitue un outil d'analyse aux multiples applications. La fonction "analyse en énergie" des électrons secondaires émis par la surface nécessite l'introduction d'un élément dispersif. Cet élément, dans le cas présent, est le spectromètre plan de type fontaine. À transmission égale, cet appareil possède une résolution supérieure aux spectromètres de type courant. L'optique électronique est constituée par un canon à électrons produisant un faisceau intense et de faible diamètre. Ainsi, le bombardement électronique sur des zones de dimensions réduites pourra s'avérer utile dans le cas d'une analyse élémentaire microscopique. Une lentille électronique à focale variable forme la seconde partie de la colonne optique. Elle permet de focaliser le faisceau primaire tout en compensant l'effet de l'analyseur sur le même faisceau. La géométrie de l'ensemble est prévue pour l'addition éventuelle d'une unité de bombardement ionique ou de rayons X. Ainsi, une analyse microscopique en profondeur d'un échantillon s'avère possible pour cet appareil.

Contexte

Section :
Physique
news icon Thème du colloque :
Physique
host icon Hôte : Université de Moncton

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Titre du colloque :

Physique
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