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58e Congrès de l'Acfas : Développement de membranes de carbure de silicium pour les masques de la lithographie à rayons X

Communications de W.T. Fu

Développement de membranes de carbure de silicium pour les masques de la lithographie à rayons X
S. Boily
Congrès 1990
(Les) Céramiques avancées des années 1990
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