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Colloque
Les dispositifs microélectromécaniques présentent un très fort potentiel dans le domaine photonique (modulateurs passifs de lumière, réseaux neuroniques optiques, ...). Nous présentons des dispositifs prototypes en silicium qui ont été fabriqués en adaptant les techniques conventionnelles de fabrication des composants microélectroniques. Des matrices (1x5 et 4x4) de micromiroirs déformables ont ainsi été fabriquées par gravure au canon à ions d'une membrane de silicium de 1µm d'épaisseur obtenue par gravure chimique au KOH d'une gaufre de Si (100). Chaque micromiroir de la matrice (surface active 50µmx50µm) est maintenu à ses extrémités par deux bras de torsion (largeur 1µm, longueur 40µm) juste …
