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Colloque
Les stylets mécaniques habituellement utilisés dans les mesures de profil nécessitent un contact physique avec la surface à mesurer et donnent des mesures erronées lorsque celle-ci est fragile. Le but de cette expérience est de mettre au point un stylet optique qui permette de faire de la profilométrie sans contact. La résolution désirée est de 0.1 micron et la gamme dynamique de 100 microns. Trois principes différents de faire de la profilométrie sans contact ont été étudiés: mesure de l'ovalité du faisceau réfléchi par un système astigmatique, mesure de l'angle du faisceau réfléchi par une surface à grande ouverture numérique …
