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Fabrication de guides d'ondes plans en ZBLAN par implantation ionique de He+
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Des guides d'ondes plans en verre de ZBLAN ont été fabriqués par implantation ionique d'hélium avec un accélérateur Van de Graaff. Pour le premier échantillon, l'implantation des ions d'hélium a été faite à une énergie de 4.0 MeV, un courant d'environ 0.2 mA cm-2 et à un dosage de 1016 ions cm-2. Le parcours longitudinal (profondeur) et l'étalement, calculés en utilisant le programme de TRIM92, sont évalués respectivement à 11.0 mm et 204 nm. Les propriétés optiques des guides d'ondes ont été examinées à la longueur d'onde d'un laser He-Ne (632.8 nm). L'absorption induite par l'implantation ionique est environ 2.9 …

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