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Plasmas appliqués aux technologies de micro- et de nanofabrication
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Les immenses progrès réalisés au cours des dernières années dans plusieurs secteurs de la haute technologie dont le domaine des micro-ondes s'expliquent en partie par l'élaboration de nouveaux procédés de micro- et nanofabrication qui permettent la création de matériaux et de structures avancés. Plusieurs de ces procédés reposent sur l'utilisation des plasmas, un milieu où peuvent s'accomplir des processus qu'il est difficile, voir impossible d'obtenir par des moyens physiques ou chimiques traditionnels. Les recherches du Prof. Chaker, de l'INRS-Énergie, Matériaux et Télécommunications, s'articulent sur deux grands axes. Il étudie les plasmas pour la synthèse et la gravure de matériaux et …

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Plasma créé par laser pour la détection de Pb dans des alliages de Cu : amélioration de la limite de détection par une approche à excitation spectrale sélective
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Il existe un grand besoin des industriels pour une analyse chimique in-situ et en temps réel d’un échantillon. Depuis quelques années, l’analyse spectrochimique par laser, LIBS (Laser-induced Breakdown Spectroscopy), est devenu un important outil d’analyse pour divers échantillons tels que les matériaux solides, les liquides et les gaz. L’analyse par LIBS communément utilisée consiste à focaliser en atmosphère ambiant un faisceau laser sur une cible. Un plasma chaud et dense se forme et se détend à partir de la surface de la cible, en émettant un rayonnement intense. L’analyse spectroscopique de ce rayonnement permet de caractériser qualitative et quantitative la …

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Déposition d'alliages nanostructurés par ablation laser à flux croisés
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La technique de déposition par laser pulsé (PLD) est reconnue comme une méthode versatile pour la synthèse de nanoparticules et de films minces. Par exemple, nous avons montré récemment que des films nanostructurés d’or et des nanoparticules de platine peuvent être préparés par PLD dans une atmosphère inerte. Dans sa forme conventionnelle, la PLD souffre d'un inconvénient important : la déposition de particules micrométriques qui créent des défauts de surface. Ces particules, produits intrinsèques de l'ablation laser, peuvent limiter les possibilités d'application de la PLD en nanoscience. Parmi les approches qui ont été proposées pour parer à cet inconvénient, la …

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Utilisation des lasers ultrarapides pour la microchirurgie de la cornée
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Les lasers femtosecondes (10-15s) offrent des perspectives intéressantes pour des applications en ophtalmologie. La découverte de l'amplification par dérive de fréquences couplée à une compression optique (chirped-pulse amplification ou CPA) en 1985 (G. Mourou/D. Strickland) a permis la génération d'impulsions à la fois courtes et énergétiques. En focalisant le faisceau du laser Titane-Saphir de l'INRS à la surface de la cornée, la matière est ablatée et ce processus varie avec les paramètres de l'interaction (paramètres laser et géométrie de l'interaction). Le seuil d'ablation, soit la fluence minimale requise pour un changement de phase à la surface d'un matériau, a été …

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Caractérisation spatiale d'un plasma créé par ablation laser dans le cadre d'une application à l'analyse multi-élémentaire
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Le LIPS (acronyme pour l’anglais Laser-Induced Plasma Spectroscopy) est une technique d’analyse multi-élémentaire qui consiste à focaliser un faisceau laser de puissance (laser impulsionnel) sur un échantillon de nature quelconque, liquide ou solide, conducteur ou isolant. Lors de l’interaction laser-matière, il y a vaporisation locale de la cible, puis allumage d’un plasma à partir du matériau éjecté. L’étude spectroscopique de la lumière émise par le plasma d’ablation (appelé encore plume d’ablation) permet alors de remonter à la composition chimique de l’échantillon. Cette technique s’avère être simple et rapide à mettre en œuvre, et elle suscite un grand intérêt de la …

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Plasmas induits par laser pour l'analyse élémentaire de matériaux solides : influence de la durée d'impulsion laser
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La spectroscopie d’émission optique de plasmas induits par laser (acronyme anglais : LIPS pour Laser Induced Plasma Spectroscopy) est une technique à fort potentiel pour l’analyse élémentaire de matériaux solides. Basé sur l’analyse spectroscopique de la lumière émise par le plasma, cette technique permet de remonter à la composition atomique de la surface du matériau. Le LIPS présente l’avantage de pouvoir être utilisé sur tout type de matériau à l’état solide, liquide, ou gazeux, conducteur ou isolant, sans nécessiter de préparation préalable de l’échantillon. Jusqu’à présent, le développement du LIPS s’est fait de façon « ad hoc » ou empirique. …

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Étude de l'évolution temporelle d'un plasma métallique créé par ablation laser en vue d'une application à l'analyse multi-élémentaire
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Le LIPS (Laser Induced Plasma Spectroscopy) est une technique d'analyse multi-élémentaire puissante et souple d'utilisation. Elle consiste à focaliser un faisceau laser sur une cible solide, liquide ou gazeuse, conductrice ou diélectrique, placée à l'air libre. L'observation par spectroscopie d'émission du plasma résultant de l'interaction laser-matière permet alors de déterminer la composition de la cible. De nombreux perfectionnement peuvent être cependant apportés à cette technique, et une connaissance précise de l'influence des paramètres de l'interaction laser-matière permettrait d'optimiser les performances analytiques du LIPS. Ainsi, l'étude systématique de la formation, de l'expansion et de l'extinction du plasma en fonction de ces …

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Réalisation de miroirs multicouches pour les rayons X par ablation laser
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Des miroirs multicouches à incidence normale pour les rayons X mous de longueur d'onde comprise entre 50 et 150 ont été réalisés par la technique d'ablation laser. Un laser excimer KrF d'une longueur d'onde de 249 nm qui fournit des impulsions d'une énergie de 200 mJ et d'une durée de 12 ns a été utilisé. Les dépôts étaient contrôlés à l'aide d'une microbalance à cristal de quartz. Des miroirs de bonne qualité constitués de couches dont l'épaisseur est comprise entre 10 et 50 ont été obtenus avec cette méthode de dépôt. Les résultats de la caractérisation de ces miroirs par …

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