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Angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy (ARXPS) est une méthode qui permet l’extraction d’un profil composition-profondeur des premiers 10 nm d’une surface parfaitement lisse. L’extraction du profil de profondeur à partir de données ARXPS, s’élève à l'inversion de la transformée de Laplace, un problème mal posé où le nombre d’inconnues est trop grand par rapport au nombre de données disponibles, et parmi les limites d’ARXPS on doit se limiter à trois degrés de liberté donc la solution n’est pas unique et elle est instable. Pour stabiliser la solution et rendre le problème bien posé il est nécessaire d’ajouter un terme de régularisation …