Veuillez choisir le dossier dans lequel vous souhaitez ajouter ce contenu :
Filtrer les résultats
Colloque
Des couches minces de silicate de titane (TixSiyO4) à haute constante diélectrique (k) ont été déposées par pulvérisation magnétron réactive (plasma radio-fréquence à 13,56 MHz) à partir d'une cible composée d'un mélange equiatomique de SiO2 et de TiO2. La microstructure et les propriétés diélectriques de ces couches ont été étudiées pour différentes conditions de croissance, soit : (i) la température de déposition (de 20 à 600oC), (ii) la proportion d'oxygène (de 0 à 30 %) et (iii) la tension de polarisation du substrat (de 0 à 150 V). La caractérisation des couches par des méthodes telles que l'absorption infrarouge (FTIR) …
Colloque
Des couches minces de silicates de titane (SiTiOx) ont été déposées par l'ablation laser réactive d'une cible composée d'un mélange SiO2/TiO2. Nous avons étudié systématiquement l'effet de la température de déposition Td (de 20 à 600oC) et de l'interaction du plasma avec une pression partielle d'oxygène (0.02 mTorr < P(O2) < 100 mTorr) sur les propriétés microstructurales et électriques des couches minces. En outre, l'absorption infrarouge (FTIR) et la spectroscopie de photoélectrons (XPS) montrent que les oxydes de silicium et de titane de la cible se mélangent au niveau moléculaire lors de l'ablation pour former une structure du type silicate …
Colloque
Des couches minces de silicates de titane (SiTiOx) ont été déposées par l'ablation laser réactive d'une cible composée d'un mélange SiO2/TiO2. Nous avons étudié systématiquement l'effet de la température de déposition Td (de 20 à 600oC) et de l'interaction du plasma avec une pression partielle d'oxygène (0.02 mTorr < P(O2) < 100 mTorr) sur les propriétés microstructurales et électriques des couches minces. En outre, l'absorption infrarouge (FTIR) et la spectroscopie de photoélectrons (XPS) montrent que les oxydes de silicium et de titane de la cible se mélangent au niveau moléculaire lors de l'ablation pour former une structure du type silicate …
