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Les plasmas micro-ondes présentent un très grand intérêt comme source en spectrométrie d’émission atomique. Les espèces métastables générées par ces derniers offrent aussi un potentiel analytique intéressant. La mise au point d’un détecteur basé sur la spectrométrie d’émission par transfert d’énergie de l’azote métastable permet entre autres l’analyse quantitative d’hydrocarbures ou la détermination quantitative d’éléments non-métalliques tel que l’oxygène. Le signal analytique vient des spectres de luminescence de la bande moléculaire CN (B2Σ+-X2Σ+) pour les hydrocarbures ou NO (B2Π-X2Π) pour l’oxygène. L’optimisation des divers paramètres et les performances analytiques de ce système seront présentées et commentées.