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Colloque
Les plasmas produits par une onde de surface sont bien adaptés à la mise au point de modèles de décharges micro-ondes. Ceci résulte de la souplesse de ces plasmas en ce sens de paramètres expérimentaux. La présence d'un champ magnétique de confinement sur tout plasma produit par de l'énergie électromagnétique se manifeste par une diminution de la température électronique par suite de la réduction des pertes de particules chargées. Cette diminution se traduit par celle de la puissance moyenne nécessaire à l'entretien d'une paire d'onde et par celle des coefficients d'excitation des atomes neutres par les électrons du plasma. Dans …
Colloque
Le diamant, de par ses propriétés physiques exceptionnelles, suscite dans l'industrie un intérêt sans cesse grandissant. Les procédés de dépôt par plasma à basse pression permettent d'obtenir des films polycristallins de diamant se prêtant bien à diverses applications. En plus du méthane qui fournit le carbone nécessaire à la croissance du cristal de diamant, on ajoute au plasma de grandes quantités d'hydrogène. Lors du dépôt, l'hydrogène atomique joue un rôle crucial puisqu'il stabilise la phase diamant et élimine le graphite pouvant également se déposer. Il est donc nécessaire de favoriser la dissociation des molécules d'hydrogène dans ces plasmas. Par la …
Colloque
Il est possible d'ioniser un gaz présent à l'intérieur d'un tube diélectrique à l'aide d'énergie micro-onde. C'est ce qui arrive, par exemple, lorsqu'un tube de Pyrex traverse un guide d'ondes par ses grands côtés. On peut cependant remplacer le diélectrique par un matériau conducteur comme le cuivre. Dans ce cas particulier, le gaz qui s'écoule à l'extrémité de ce manchon est ionisé, formant ainsi une torche à plasma micro-onde à la pression atmosphérique. Nous présentons ici deux aspects particuliers de cette nouvelle torche. Tout d'abord, le dispositif lui-même sera décrit en mettant l'accent sur sa très grande souplesse au niveau …
Colloque
L'importance du potentiel d'applications des dépôts diamantaires suscite de nos jours un intérêt et un effort de recherche remarquables. Ces dépôts procèdent généralement de décharges électriques à base d'hydrogène et de méthane, l'hydrogène atomique ayant un rôle important à jouer lors du dépôt. Nous avons entrepris d'étudier des décharges d'hydrogène entretenues par la propagation d'une onde de surface dans le but de trouver les conditions optimales (fréquence d'entretien de la décharge, pression) pour produire de grandes quantités d'hydrogène atomique. Une première étape de cette étude consiste en la mesure de la température du gaz d'hydrogène, que nous corrélions avec les …
