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Colloque
Les plasma micro-ondes produits à la RCE sont perçus actuellement par la communauté scientifique comme un substitut futur aux décharges capacitives pour le traitement de matériaux. Ceci résulte entre autres des pressions réduites auxquelles ces plasmas fonctionnent, ce qui permet d'envisager leur utilisation pour la reproduction de motifs sub-microniques. Ces dernières années, il est apparu que l'étude exhaustive des caractéristiques des plasmas de RCE s'avère indispensable si l'on veut élaborer des modèles de décharge permettant d'en prédire les propriétés dans des conditions expérimentales données. À cet effet, on se doit de mettre au point des méthodes de diagnostic fiables. Dans …
Colloque
Les plasma micro-ondes produits à la RCE sont perçus actuellement par la communauté scientifique comme un substitut futur aux décharges capacitives pour le traitement de matériaux. Ceci résulte entre autres des pressions réduites auxquelles ces plasmas fonctionnent, ce qui permet d'envisager leur utilisation pour la reproduction de motifs sub-microniques. Ces dernières années, il est apparu que l'étude exhaustive des caractéristiques des plasmas de RCE s'avère indispensable si l'on veut élaborer des modèles de décharge permettant d'en prédire les propriétés dans des conditions expérimentales données. À cet effet, on se doit de mettre au point des méthodes de diagnostic fiables. Dans …
