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Couches minces déposées par plasma pour des applications optiques et photoniques
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Une caractéristique essentielle du fonctionnement d'une torche à plasma d'arc est le comportement erratique de l'arc dans la tuyère sous l'action conjuguée des forces hydrodynamiques, des forces de Lorentz et d'effets thermiques à la paroi de l'anode. Ces phénomènes entraînent des instabilités de l'écoulement qui sont accentuées par le mélange turbulent avec le gaz environnant quand le jet de plasma s'écoule dans un gaz froid au repos. Les torches à plasma d'arc sont utilisées pour la réalisation de revêtements protecteurs, la fabrication de pièces de forme complexes et le rechargement de pièces usées. Cependant les fluctuations de la tension engendrées …

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Le traitement du Carbone actif par plasma froid
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Les carbones activés de types BPL et ASC (imprégné de Cu, Cr et Ag) sont utilisés comme membrane de protection pour le traitement d'adsorbeur sur une grande variété de composés chimiques. L'adsorption de molécules H2O ou un environnement trop humide réduisent cependant l'efficacité envers ces molécules toxiques: le plasma de l'azote modifie l'état d'oxydation des métaux imprégnés. Le but de cette étude est d'évaluer l'efficacité du traitement par plasma froid sur la performance de l'adsorbeur. Les échantillons révèlent une grande activité envers les produits CO, H2O, et H2. Ce travail fait partie d'une étude sur le Carbone actif. Suivant une …

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Traitement de matériaux par plasma hyperfréquence/radiofréquence mixte
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Nous utilisons routinièrement les plasmas à "fréquence mixte" pour les opérations de gravure, de dépôt de couches minces, et de modification de surfaces de matériaux: l’excitation hyperfréquentielle (h.f., 2.45 GHz) assure une concentration élevée d’espèces actives en phase gazeuse, tandis que la puissance radiofréquentielle (r.f., 13.56 MHz), que l’on applique de manière indépendante au porte-substrat électriquement isolé, crée une polarisation V, variable entre 0 et -800 V. Celle-ci, à son tour, provoque un bombardement du substrat par des ions dont l’énergie et le flux peuvent être sélectionnés de façon à optimiser le procédé. Nous étudions l’effet de la composante r.f. …

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Rôle du bombardement ionique dans le dépôt des couches minces par plasma
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Le contrôle des interactions plasma-surface est essentiel pour la fabrication et la modification des matériaux dans l’environnement plasma à basse pression. En particulier, le bombardement de la surface par des ions de basse énergie (<1000 eV) permet de varier la qualité des matériaux; ceci résulte de la dissipation d’énergie à la surface qui peut agir sur la mobilité des espèces et leur réactivité chimique ainsi que provoquer leur réémission, la pulvérisation, leur incorporation et d’autres phénomènes. Dans cette recherche, une décharge "mixte" (microonde avec polarisation radiofréquence) a été utilisée afin de contrôler le flux et l’énergie des ions de façon …

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